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製品情報

Product Information

​製品情報

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Capacitive Sensors

静電容量型変位センサ

Lion Precision (USA)
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Lion Precisionは1958年にDr. Kurt Lion により設立され、静電容量型変位センサを世界で初めて販売を開始致しました。渦電流型変位センサを新たなラインアップに加え、公的研究機関を含め、世界中の様々な分野でご活用いただいています。

Lion Precision独自の技術により開発された静電容量型変位センサは、被測定物に接触することなく変位を高精度に測定することができます。非接触であるため、被測定物に負荷や損傷を与えることなく、ナノメートルレベルでの各種変位測定、形状測定、厚み測定、位置検出などが可能です。
業界最高レベルの分解能と優れた安定性により、工作機械や半導体、光学機器、バイオサイエンスなど様々な分野で広くご活用いただいております。

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Eddy-Current Sensors

渦電流型変位センサ

Lion Precision (USA)
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Lion Precisionは1958年にDr. Kurt Lion により設立され、静電容量型変位センサを世界で初めて販売を開始致しました。渦電流型変位センサを新たなラインアップに加え、公的研究機関を含め、世界中の様々な分野でご活用いただいています。

Lion Precision独自の技術により開発された渦電流型変位センサは、非接触で被測定物の変位を高精度に測定することができます。渦電流型変位センサは、測定対象物との間に交流磁場を発生させ、磁場の変化量を変位として検出します。そのため、センサと測定対象との間に水や油などがある環境下でも影響を受けることなく測定することができます。Lion Precisionの渦電流型変位センサは高性能であるため、ミリ単位の測定レンジでありながらサブミクロンレベルの高い分解能を得ることできます。
環境に強く、取扱いが容易であるため、工作機械などの分野はもとより、様々な分野のアプリケーションでご活用意いただいております。

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渦電流型変位センサ
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Spindle Error Analyzer

スピンドル動特性評価システム

Lion Precision (USA)
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Lion Precisionは1958年にDr. Kurt Lion により設立され、静電容量型変位センサを世界で初めて販売を開始致しました。渦電流型変位センサを新たなラインアップに加え、公的研究機関を含め、世界中の様々な分野でご活用いただいています。

スピンドルエラーアナライザは精密スピンドルの回転時の動的振れ成分を測定するシステムです。変位センサ部には静電容型変位センサを採用しているため、高速回転時でも高精度な測定が可能です。また、付属の温度モジュールと組合せることによりスピンドルの回転時の発熱による熱変位測定が可能です。
測定結果はISOならびにJIS規格に準拠しているため、本システムを使用する事により手間を掛けることなく国際規格に準拠した正確な測定結果が得られます。現在では工作機械用スピンドル評価装置の世界標準器として、世界各地のお客様にご活用いただいています。

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スピンドル動特性評価システム
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Air Bearings

エアベアリング

エアベアリング

Professional Instruments Company (USA)
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1946年の会社設立以来現在に至るまで、世界で最も高精度なエアベアリングスピンドルを製造しています。高精度と高剛性を必要とする超精密分野の多くのお客様に、長年に渡りご活用いただいています。

プロフェッショナルインスツルメンツ社 (PI 社) のエアベアリングスピンドルは、独自技術であるグルーブコンペンセーション構造により、高精度でありながら高負荷容量と高剛性を実現しています。
ナノレベルの超高精度加工ではエアギャップ中心部における剛性の差が加工面精度の差として現れます。PI 社のエアベアリングスピンドルはセンタ剛性が非常に高く、国内外の超精密加工や測定の分野で多くの実績と高い評価をいただいています。
PI 社のエアベアリングスピンドルは、超精密加工機や超精密測定機以外にも、 光学素子用金型の高速フライカットや非球面レンズ金型の超精密高速研削機の主軸としても広く採用されています。 また、高精度が必要とされる光学ディスクやハードディスクのメディアなど、各種ディスクの検査装置用としても採用されています。 最高毎分6万回転までの幅広いモデルでお客様のアプリケーションに対応しています。

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Precision Hydrostatic Spindles

超精密油静圧スピンドル

超精密油静圧スピンドル

Professional Instruments Company (USA)
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1946年の会社設立以来現在に至るまで、世界で最も高精度なエアベアリングスピンドルを製造しています。高精度と高剛性を必要とする超精密分野の多くのお客様に、長年に渡りご活用いただいています。

プロフェッショナルインスツルメンツ(PI社)の超精密油静圧スピンドルは2つの円錐状(Bi-Conic)の軸受面を持つスピンドルです。同一サイズの BLOCK-HEAD 4R エアベアリングスピンドルと同様、ナノメートルレベルの回転精度を確保しつつ、負荷容量は大幅に高くなっています。さらに、剛性の高い構造と空気に代え油を使用する事で、振動の減衰特性が大幅に向上しました。

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Machine Tool Inspection

5軸加工機回転軸校正システム

5軸加工機回転軸校正システム

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IBS Precision Engineering BV (NED)

IBS Precision Engineeringは、20年以上に渡り超高精度が必要とされる位置決め運動精度測定に対して製品を提供しています。同社のソリューションは工作機械分野のみならず、半導体や医療など様々な分野へ提供されています。

オランダIBS Precision Engineering工作機械検査シリーズの測定方式は独自に開発したそれぞれの特殊プローブで、3Dのデータを一度に取り込み演算する画期的なものです。
プローブに使われる測定子も、高分解の接触式センサで有線タイプのTRITON と非接触センサで自由度の高い無線タイプのTRINITYがあります。

3軸精度検査システムPosition Inspector は工作機械のテーブル上にあらかじめ高精度に校正したボールビームを取り付けます。ビーム上には直径22㎜のセラミック製ボールが50㎜の等間隔で取付けられています。3つのセンサーを組込んだ独創的な自動調芯式プローブTRITONをセラミック製ボールに押し当てることで、ボールの中心点座標が瞬時にサブミクロン精度で測定されます。この動作を移動させた並んだボールに繰り返し行い、得られた結果を付属するソフトウエアで解析する事で、位置決め誤差と真直度誤差がISO 230に準拠して評価できます。

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リニアガイド・リニアエンコーダ
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Linear Guideways and Measuring Systems

リニアガイド・リニアエンコーダ

SCHNEEBERGER AG (SUI)
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1923年に設立され、世界で初めて転がりによるリニアガイドを考案、製造しています。シュネーベルガー社のリニアガイドを中心に幅広い商品群を展開しており、長年にわたり、精度、信頼性、経済性の3点で高い実績を上げています。

シュネーベルガー社のリニアガイドは、高い剛性と優れた動的/静的耐荷重性、高寿命が特長で卓越した動作円滑性を実現しています。
また、高剛性なリニアガイドは、高い防振性も兼ね備えており、駆動時の振動振幅を抑制します。
リニアエンコーダと一体型とする事が可能であるため、高精度な直動制御システムのコンパクト化が実現できます。

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Ultra Precision Diaphragm Chuck

超精密ダイアフラムチャック

超精密ダイアフラムチャック

NORTHFIELD Precision Instrument Corporation (USA)
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Northfield Precision は1952年の設立以降、精密エアチャックおよび精密ダイヤフラムチャックの業界リーダーとして、世界で最も精度の高いエアチャックと卓越した品質およびサービスを提供しています。

※ 弾性変形を用いた超高精度チャックです。
※ 保証精度-ラジアル 0.00002” (5 μm) T.I.R.
        -アキシャル 0.00001” (2.5 μm) T.I.R.
※ チャックサイズ 3” (76 mm) から 10” (254 mm) までの、豊富な機種を取り揃えています。
※ 金属接触する部品は全く使用していませんので、驚くほどの長寿命です。
※ 高速で使用するためにカウンターバランスされています。
※ 独立式エアシリンダ組込みにより、信頼性が非常に高いダイヤフフラムチャックです。

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精密エアチャック

Precision Air Chuck

精密エアチャック
NORTHFIELD Precision Instrument Corporation (USA)
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Northfield Precision は1952年の設立以降、精密エアチャックおよび精密ダイヤフラムチャックの業界リーダーとして、世界で最も精度の高いエアチャックと卓越した品質およびサービスを提供しています。

※ 保証精度 (再現性) 0.0001” (2.5 μm) max. から 0.00001” (0.25 μm) max. T.I.R. まで、チャックサイズ 3” (76 mm) から 12” (305 mm) までの、豊富な機種を取り揃えています。
※ ロータリージョイントエアベアリングの採用により、金属同士の接触による摩耗がありませんので、比類ない長寿命を実現しました。チャック内で金属接触する部品はわずかに4個 (センターウェッジとマスタージョー3個)です。
※ 高速での使用に対応し、出荷前にバランス調整してあります
※ 標準タイプジョーに加え、特注ジョーにも対応可能です。

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