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静電容量変位センサ Capacitive Sensors

 

モデルCPL350

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モデルCPL350

 モデルCPL350は、OEMおよび組み込み型アプリケーションの用途に対応するために新たに開発されたコンパクトパッケージの静電容量型変位センサです。
 主にOEMや組み込み用のフィードバックセンサとしてご活用いただけます。また、コンパクトでありながら高分解能/高応答性にも対応しているため、ステージステップ送り測定などナノメートルレベルの測定にもご活用いただけます。
 Lion Precision独自の技術である温度補正機能を搭載しており、高分解能と高速応答性を実現しながら優れた安定性を両立させたコンパクト型非接触変位センサです。

特徴

コンパクトなパッケージ

BNCコネクタからのシングルエンドアナログ出力(±10V)

OEMおよび組み込み型アプリケーションに最適

プローブは、CPL190/290と同一モデルを使用


主な仕様

測定範囲: 10um~12.5mm

出力分解能※1: 0.004%F.S.@15kHz

直線性: 0.5%F.S.

応答周波数: 100Hz, 1kHz, 10kHz, 15kHzに切替え可能

温度ドリフト: 0.04% F.S /℃

使用温度範囲: 4~50℃

使用湿度範囲: 95%以下(結露なきこと)

出力電圧: ±5V

供給電源: AC100V

*1. 15kHz応答時の標準的な値です。選定される電極径、測定範囲、応答周波数により異なります。


主なアプリケーション

■組み込み用途のフィードバックセンサ

■精密スピンドルの振れや熱変位測定

■精密ステージの真直度やステップ送り測定

■位置決めやフォーカスコントロールなどの姿勢制御

■振動体などのダイナミック計測および制御

■ウェーハやディスクなどの厚みおよび形状測定

詳細はアプリケーションをご確認下さい


測定範囲と分解能

 

 


多彩なプローブ形状

モデルCPL350 には多彩なプローブ形状がラインアップされています。様々な外形形状や電極径、測定範囲などお客様のアプリケーションに最適なプローブを選定することができます。また、ご要望の仕様に合わせてプローブ形状や電極径などのカスタマイズを行うこともできます。