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静電容量変位センサ Capacitive Sensors

 

モデルCPL190

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モデルCPL190

Lion Precisionの静電容量変位センサモデルCPL190は温度補正により、高分解能でありながら優れた温度特性を持つモデルです。高速で回転する回転体の測定はもとより、精密ステージの真直度やステップ送りなど安定性を必要とする測定で特性を発揮します。
また、組合せて使用するセンサプローブは発振回路が本体に内蔵されているため、センサプローブの小型化が容易です。プローブケーブルは多芯構造となっているため、従来の静電容量変位センサで問題となっていたケーブルの曲げによる影響を受けません。センサプローブには熱源がなく、真空中や非磁性などの特殊環境下でも大気中と同様の性能を得ることができます。

特長

■非接触変位測定

■高い応答性と分解能

■優れた温度特性と安定性

■ケーブルの曲げによる影響を受けない

■コンパクトで多彩なセンサプローブ

■真空対応


主な仕様

測定範囲: 10um~6mm

出力分解能: 0.4nm

直線性: 0.2%

応答周波数: 100Hz, 1kHz, 10kHz, 15kHzに切替え可能

温度ドリフト: 0.04% F.S /℃

使用温度範囲: 4~50℃

使用湿度範囲: 95%以下(結露なきこと)

出力電圧: ±10V(オプション:±5V)

供給電源: AC100V


主なアプリケーション

■精密スピンドルの振れや熱変位測定

■精密ステージの真直度やステップ送り測定

■位置決めやフォーカスコントロールなどの姿勢制御

■振動体などのダイナミック計測および制御

■ウェーハやディスクなどの厚みおよび形状測定

詳細はアプリケーションをご確認下さい


測定範囲と分解能

 

 


多彩なプローブ形状

モデルCPL190 には多彩なプローブ形状がラインアップされています。様々な外形形状や電極径、測定範囲などお客様のアプリケーションに最適なプローブを選定することができます。また、ご要望の仕様に合わせてプローブ形状や電極径などのカスタマイズを行うこともできます。

 

 


様々な構成に対応

Lion Precisionの静電容量変位センサは、1つのエンクロージャに対して最大8チャンネルまで搭載することが可能です。シングルチャンネルからマルチチャンネル、各機能モジュールとの組合せなどお客様のアプリケーションやご予算に応じてフレキシブルな対応ができます。