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スピンドル動特性評価システム Spindle Error Analyzer

 

マスターターゲット

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マスターターゲット

マスターターゲットは、厳格な基準により製造されています。Lion Precisionの提供するマスターボールの形状精度は50nm以下を達成しています。
測定の角度位置を把握するためにスピンドルからのエンコーダ信号を使用していない場合、ソフトウェア上で1回転を認識させるためにターゲット側で一定の偏芯が必要となります。

いくつかのマスターボールは、予め50μm(固定)の偏心が生じるよう加工されています。また、50umの偏芯量が大きく、測定精度に影響を与える場合には、高精度スピンドル用として偏芯量の調整が可能なタイプがラインナップされています。最大5チャンネルでの測定を行う場合にはデュアルマスターボールターゲットが必要となります。
その他、2種の仕上げ面精度を持つ1インチ径テストバータイプがございます。テストバータイプは、1インチ以外に1/8インチと2mm径がラインナップされています。

標準マスターターゲット

シングル1インチ径(偏芯量50um)

シングル1インチ径(偏芯量50um)

デュアル1インチ径(偏芯量50um)

デュアル1インチ径(偏芯量50um)

シングル0.5インチ径(偏芯量調整)

シングル0.5インチ径(偏芯量調整)

20mm径テストバー

20mm径テストバー


マイクロ/ナノシステム

シングル0.5インチ径(偏芯量調整)

シングル0.5インチ径(偏芯量調整)