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静電容量変位センサ Capacitive Sensors

 

静電容量式接触変位センサ

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静電容量式接触変位センサ

接触式でありながら変位検出部に静電容量変位センサを組合せることで高精度な変位測定ができる変位センサです。コンタクトチップ可動部にはエアベアリングを採用しており、可動部の摩擦を最小化しスムーズな動きを実現しています。また、剛性を保つことで側面荷重を最小限に抑えています。
コンタクトプローブにはダイヤモンドチップ(標準)を採用しており、測定対象面への負荷を抑えながら長寿命化を実現しています。先端部は交換式のため、アプリケーションに合わせたコンタクトプローブを取り付ける事ができます。
従来の接触式センサに比べ、測定対象への負荷が少なく高精度な計測が可能な変位センサです。

特長

■静電容量変位センサを検出部に採用

■静電容量変位センサの取り外しが可能

■エアベアリングによる摩擦の無い駆動

■側面荷重の影響を最小化

■測定範囲1.25mm時で7nm-rmsの高分解能を実現

■最小0.2gから調整可能な触針圧

■測定環境の影響を受けにくい

■先端が引き込み可能なリトラクタブル構造

■交換可能なダイヤモンドチップ

 


主なアプリケーション

-加工ワークの形状測定(平面、曲面、斜面など)

-工具、刃物などの形状測定

-真直度、位置/アライメント測定

-厚み、段差、寸法測定

-樹脂、ガラスなどの形状測定

真球の真円度計測

真球の真円度計測


主な仕様

 

 


エアベアリング構造

エアベアリング構造を採用することにより、高分解能での接触測定を実現しています。ポーラスカーボンベアリングによりプローブプランジャの周囲にエア静圧を生成します。エア静圧により、ターゲットスキャン時のラジアル方向の剛性とスムーズな動きを実現し、側面からの負荷を最小限に抑えています。

 

ダイヤモンドチップ

Lion PrecisionのC-LVDTには交換式ダイヤモンドチップが付属しています。 C-LVDTの高品位な接触面により高精度な測定が実現されています。


ダイヤモンドはルビーよりも優れた材料です

低摩擦: 横力は移動対象からの平面方向の検出力を下げる反転検出時のヒステリシス

高精度な研磨面:ダイヤモンドチップは測定面への傷を防ぎ高精度な研磨面を保ちます。

最小限の摩耗:精度と長寿命を向上させます。

 

 


外観寸法