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静電容量変位センサ Capacitive Sensors

 

モデルCPL490

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モデルCPL490

Lion Precisionの静電容量変位センサモデルCPL490は超高分解能を必要とされる用途に対応するために新たに開発された最新型の静電容量変位センサです。
高分解能でありながら高速応答にも対応しているため、高速で回転する超精密スピンドルの振れ測定や超精密加工を行うためのステージステップ送り測定などナノメートルレベルの測定にご活用いただけます。Lion Precision独自技術による温度補正機能により、優れた安定性も実現しています。

特長

■非接触変位測定

■サブナノメートルレベルの高い分解能

■高速応答(最高50kHz)

■温度補正による優れた温度ドリフト性能

■様々な測定範囲をラインアップ


主な仕様

■測定範囲:10um~200um

■出力分解能:最高0.05nm

■直線性:0.2% F.S.

■応答周波数:1kHz, 10kHz, 15kHz, 50kHzに切替え可能

■温度ドリフト:0.04% F.S. /℃

■使用温度範囲:15~40℃

■使用湿度範囲:95%以下(結露なきこと)

■出力電圧:±10V

■供給電源:AC100V


主なアプリケーション

■高速スピンドルの振れ測定

■精密スピンドルの熱変位測定

■ピエゾステージのステップ送り精度測定

■振動体などのダイナミック測定

■高速運動機構の制御

詳細はアプリケーションをご確認下さい

精密スピンドルの振れ測定

精密スピンドルの振れ測定

精密ステージの微小送り測定

精密ステージの微小送り測定

精密ステージの真直度測定

精密ステージの真直度測定

高速振動体の測定

高速振動体の測定


測定範囲と分解能

 

 


モデルCPL490用標準プローブ

モデルCPL490用プローブはプローブ内部に発振回路が内蔵されているため、高分解能と高速応答を実現しています。プローブケーブルは多芯構造のため、プローブケーブルの曲げによる電気的な影響を受けません。

 

 


様々な構成に対応

Lion Precisionの静電容量変位センサは、1つのエンクロージャに対して最大8チャンネルまで搭載できます。シングルチャンネルからマルチチャンネル、機能モジュールとの組合せなどお客様のアプリケーションやご予算に応じてフレキシブルな対応ができます。

 

 


モデルCPL490での1ナノメートルステップ送り評価