• ホーム
  • 製品情報
  • アプリケーション
  • 会社概要
  • お問い合わせ

アプリケーション

 

静電容量型変位センサ

精密スピンドルの振れ測定

静電容量型変位センサは面測定であるため、測定面の加工状態の影響を受けずに測定することができます。回転体など測定面が移動する用途では、特性を活かし高精度に測定対象の変位量を測定することができます。
また、高速応答であることから、10万rpm以上の高速で回転する回転体の測定でも性能を発揮します。

精密ステージの真直度測定

静電容量型変位センサは面測定であるため、測定面の加工状態の影響を受けずに測定することができます。精密ステージの真直度測定では、測定面の加工状態の影響を受けることなく、ステージの動きを高精度に測定することができます。
光学式に比べ、コンパクトな構成で高精度な測定を行うことができるため、幅広く活用されています。

精密ステージの送り精度測定

静電容量型変位センサはサブナノメートルレベルの高い分解能を有しているため、超精密ステージの送り精度を評価する用途で活用されています。センサ出力にはヒステリシスが無いため、ピエゾ駆動機構にセンサ出力をフィードバックすることで高精度なクローズドループ制御を行うことが可能です。コンパクトなプローブボディであることから、組込み用途などでもご活用いただけます。

位置決めやフォーカスコントロール

静電容量型変位センサは、精密ステージの移動量を高精度に測定することができます。サブナノメートルレベルの高い分解能を有しているため、精密ステージなどの微動機構での位置検出や位置調整ができます。
また、センサ出力をフィードバックすることで高精度なクローズドループ制御を行うことが可能です。コンパクトなプローブボディであることから、組込み用途などでもご活用いただけます。

ウェーハなどの厚みや形状測定

静電容量型変位センサは、半導体ウェーハなど非接触測定が必要とされる用途でご活用いただけます。静電容量型変位センサは、測定対象面が移動する変位測定に適しているため、測定対象の両面に対してセンサを対抗させることにより、測定対象の厚みや形状を高精度に測定することができます。また、優れた温度特性により、長時間での安定した測定が可能です。

高速回転ディスクなどの厚みや形状測定

自動車などのブレーキロータは安全上重要な部品の一つであるため、厚みや形状の変化を計測することが重要です。静電容量型変位センサは、非接触でかつ高速応答であるため、高速で回転する測定対象の厚み測定でご活用いただけます。
小型プローブにより組み込んだ状態での測定にも対応できます。

振動体などのダイナミック測定

静電容量型変位センサは高い応答性を有しているため、高速で変位する測定対象の変位量を高精度に測定することができます。高い追従性から移動体の振動量測定にもご活用いただけます。

姿勢制御

複数の静電容量型変位センサで測定対象の位置を検出を行い、出力をフィードバックさせることにより測定対象の姿勢制御ができます。優れた温度特性を有しているため、長期間でも安定した制御が可能です。
また、コンパクトなプローブボディにより装置などへ容易に組み込むことができます。

特殊環境下での変位測定

静電容量型変位センサは、フィードスルーを介する事で真空チャンバ内での使用が可能です。また、プローブには熱源が無いため、周辺への影響を与えません。
ケーブルなどは脱ガス対応であるため、脱ガスなどがシビアな環境でもご使用いただけます。
高い安定性により、チャンバ内での長期間の変位測定や制御用検出としてご活用いただけます。

アクティブ振動制御

静電容量型変位センサは高い応答性により、振動制御を目的としたフィードバックセンサとしてご活用いただけます。Lion Precision 独自の温度補正により、長時間での制御用途でも高い安定性を実現しています。
小径の円筒形状から板型まで多彩なプローブ形状により、装置への組込みが容易です。

うず電流型変位センサ

加工中の熱変位測定

うず電流型変位センサは磁界の変化を検出原理としているため、水や油などが付着する環境下でも影響を受けることなく、測定することができます。センサ部はIP67規格に対応しており、切削水などがかかる場所でも安心してご活用いただけます。
加工中の熱による変位は加工精度に影響を与える要因となるため、加工中の熱変位計測に最適です。うず電流型変位センサは、高分解能でありながら測定レンジを広くとることができるため、取扱いも容易です。

加工中の振動モニタリング

うず電流型変位センサは磁界の変化を検出原理としているため、水や油などが付着する環境下でも影響を受けることなく、測定することができます。センサ部はIP67規格に対応しており、切削水などがかかる場所でも安心してご活用いただけます。
他方式では計測できない、水や油が使用されている加工中の振動モニタリング用としてご活用いただいております。小型センサもラインナップされており、加工機への組込みも容易です。

位置検出

うず電流型変位センサは、高分解能でありながら測定レンジを広くとることができるため、高精度での位置検出が可能です。多点での使用も可能であるため、同時に複数個所の位置検出を行うことができます。

部品の姿勢/位置検出

うず電流型変位センサは、高分解能でありながら測定レンジを広くとることができるため、高精度での位置検出が可能です。また小型のプローブが標準でラインナップされているため、多点での位置検出をリアルタイムに行うことができます。

液体中での変位測定

うず電流型変位センサは水や油の中でも使用する事ができます。プローブ部は耐水規格であるIP67に対応しているため、水中や油中での変位測定にご活用いただけます。
高温対応プローブもラインナップされており、水中や油中だけでなく高温環境下でも変位測定を行うことができます。

エアスピンドル

HDDメディアなどの検査

プロフェッショナルインスツルメンツのエアベアリングスピンドルは、長年に渡り高い精度と信頼性を提供しています。ラジアル方向の非同期誤差は、約2nmを達成しており、超高精度な非同期誤差性能が要求されるハードディスクドライブ用メディアのリード/ライト検査やメディアの検査用途などでご活用いただいています。

真円度や平坦度検査

真円度や平坦度検査など測定対象を動かしながら測定または検査する用途では、対象自身の動きの誤差を抑える事が測定精度を高めることに繋がります。プロフェッショナルインスツルメンツの超高精度エアベアリングは、動的誤差が極めて低く、形状を得るための基準面として貢献しています。

加工機での超精密加工

プロフェッショナルインスツルメンツのエアベアリングスピンドルは、研削盤や旋盤を始めとしたダイヤモンドターニング加工など、様々な用途での加工回転軸としてご活用いただいています。BLOCK-HEADやISOなどのエアベアリングスピンドルは高剛性であり、且つラジアルおよびアキシャル方向の回転精度が極めて高く、加工部品の加工精度向上に貢献しています。

光学スキャニング

光学スキャニングでは、ラジアル方向の回転非同期誤差が歪みを引き起こす一因とされるため、高い精度が必要とされます。プロフェッショナルインスツルメンツのエアベアリングスピンドルは高精度を実現しているため、光学スキャニング技術の向上に貢献しています。

研削砥石用主軸

プロフェッショナルインスツルメンツのエアベアリングスピンドルは、研削砥石用主軸として多くの用途で使用されています。
同期および非同期誤差が極めて低く、加工精度の改善に貢献します。これらの特長により脆性材料の加工時における表面損傷を低減させることができます。